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工業(yè)固定式真空清掃機電子半導體粉塵處理設備CVPSINOVAC
| 產品型號： |
CVP |
| 品 牌： |
SINOVAC |
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| 所 在 地： |
江蘇無錫 |
| 更新日期： |
2026-05-18 |
| | 品牌：SINOVAC | | 加工定制：是 | | 型號：CVP | |
| | 林格曼黑度：0級 | | 除塵率：99.99 % | | 使用溫度范圍：-40~80 ℃ | |
| | 處理風量：600~10000 m3/h | | 除塵率：99.99 % | | 使用溫度范圍：-40~80 ℃ | |
工業(yè)固定式真空清掃機電子半導體粉塵處理設備CVPSINOVAC
工業(yè)固定式真空清掃機也稱為集中式真空清掃系統(tǒng)是專為電子半導體行業(yè)研發(fā)的中央式粉塵治理設備，聚焦晶圓加工、芯片封裝、PCB 制造等場景產生的硅粉、光刻膠粉塵、焊錫微粒、樹脂碎屑等超細、易燃易爆、易帶靜電粉塵的高效收集與凈化需求。設備采用固定式中央主機 + 分布式管網布局，通過高負壓密閉輸送、多級高精度過濾、防靜電與防爆安全設計，實現 24 小時連續(xù)穩(wěn)定運行，徹底杜絕人工清掃與普通除塵設備帶來的二次揚塵、靜電擊穿、粉塵爆炸、潔凈度不達標等痛點，全面滿足 ISO Class 5 級及以上潔凈車間、SEMI 國際半導體設備標準。
CVP固定式真空清掃機核心工作原理
設備基于負壓吸附 + 多級氣固分離技術運行：中央真空機組（無油干式真空泵 / 多級離心風機）產生 - 30kPa~-50kPa 穩(wěn)定負壓，在全封閉不銹鋼 / 防靜電管網內形成高速氣流（≥20m/s）；車間內粉塵經分布式吸塵口、防靜電軟管與專用吸嘴被吸入管道，隨氣流輸送至主機；經旋風初級分離（截留 95% 大顆粒）→中效過濾→PTFE 覆膜高精度過濾→ULPA 終端過濾四級分離，逐級攔截從粗碎屑到 0.12μm 亞微米級超細粉塵；過濾后潔凈空氣經消音排放，粉塵集中收集于密封集塵桶，可定期安全清理或物料回收；系統(tǒng)配套脈沖反吹自動清灰，維持濾芯吸力與過濾效率穩(wěn)定。
工業(yè)固定式真空清掃機電子半導體粉塵處理設備CVPSINOVAC
